EPB Plus™

Herzstück von EPB Plus™ Vakuumregelsystemen ist eine elektro-pneumatische Regelklappe, die mit innovativen Komponenten ausgestattet ist und so eine kontinuierliche und zuverlässige Vakuumregelung im Hochvakuumbereich zu garantieren. EPB Plus™ kann über das Prozessleitsystem oder ein von IBS geliefertes Regelsystem gesteuert werden. EPB Plus™ Regelklappen unterscheiden sich wesentlich von anderen am Markt verfügbaren:

• Integrierte Vakuummessung für zuverlässige Vakuumregelung.
• Integriertes Reinigungssystem für hohe Funktionssicherheit.
• Minimaler Verkabelungsaufwand durch integrierte Vakuummessung.
• Glasfaserverstärkte Schutzabdeckung schützt sämtliche Komponenten vor Verschmutzung.